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J-GLOBAL ID：201902228780697848   整理番号：19A2237874

大型格子と超音波を製造するための精密ブランク運搬の開発【JST・京大機械翻訳】

Development of precision blank carriage for manufacturing large gratings and echelles

著者 (2件)： Ge Xinfang (School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei, China) ,  Chu Biao (Hefei Cement Research & Design Institute Co., Ltd., Hefei, China)
資料名： Advances in Mechanical Engineering  (Advances in Mechanical Engineering)
巻： 11  号： 1  ページ： 1687814018819547  発行年： 2019年 
JST資料番号： W5122A  ISSN： 1687-8140  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高精度位置決めと同様に500mmまでの長距離移動を達成するために,圧電変換器により駆動されるボールねじ駆動粗段を圧電変換器により駆動する長距離位置決め装置は,ナノメートルスケールでの回折格子作製の分野で重要である。本論文では,20nmの高さの分解能を有する微細送り駆動ステージの設計を提示し,超精密位置決めを実現するための単一ニューロンベース比例積分微分制御装置を提案した。高性能圧電変換器を用いて機構を駆動し,平行な葉ばねを用いてプレロード力を有する移動プラットフォームを誘導した。精密位置決め機構の動的モデルを,Hertz接触を考慮することによって確立した。さらに,静的および動的特性をレーザ干渉法追跡法で調べた。実験結果は,10nm未満の位置決め精度が単一ニューロンに基づく比例積分微分制御装置で得られ,提案した機構と制御戦略の優れた性能を実証することを示した。Copyright The Author(s) 2019 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 制御装置 ,  圧電気 ,  プレローディング ,  ニューロン ,  ダイナミックモデル ,  積分 ,  微分 ,  *超音波 ,  位置決め ,  位置決め装置 ,  ボールねじ
準シソーラス用語： 位置決め精度 ,  精密位置決め ,  圧電変換器 ,  高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ナノ精密供給 ,  圧電トランスレータ ,  葉のばね ,  動的性能 ,  大きな格子

分類 (2件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 大型 ,  格子 ,  超音波 ,  精密 ,  ブランク ,  運搬 ,  開発