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J-GLOBAL ID：201902229202750685   整理番号：19A2094622

1秒応答時間を特徴とするエーロゾルジェット印刷技術に基づく金属酸化物ガスセンサ【JST・京大機械翻訳】

A Metal-Oxide Gas Sensor Based on an Aerosol Jet Printing Technology Featuring a One Second Response Time

著者 (3件)： Cho Yu-Cheng (Electrical and Computer Engineering, McGill University, Montreal, CANADA) ,  Elsayed Mohannad Y. (MEMS Vision International Inc., Montreal, CANADA) ,  El-Gamal Mourad N. (Electrical and Computer Engineering, McGill University, Montreal, CANADA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII  ページ： 1333-1336  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,工業的PolyMUMPs技術に基づくプロセスを通して製造されたマイクロホットプレートと組み合わせた,エアロゾルジェット印刷を利用した金属酸化物ガスセンサの設計と製造について報告する。製作は,付加的なアラインメントまたはドライエッチング装置を必要としない,製造の複雑さを大幅に低減する,社内の後処理ステップで補完される。エーロゾル噴流印刷を用いて,ミクロン厚さの薄い均一金属酸化物膜を堆積した。300°C以上の加熱温度は,約24mWの電力消費でマイクロホットプレートにより達成される。測定結果は,作製したセンサが良好な感度を示し,1.2秒の低い超高速応答時間を特徴とすることを実証した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 加熱温度 ,  *エアロゾル ,  後処理 ,  *印刷 ,  *金属酸化物 ,  *ガスセンサ ,  *センサ ,  電力消費 ,  アラインメント ,  *応答時間
準シソーラス用語： 超高速 ,  ホットプレート ,  *印刷技術 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  移動通信  (ND08030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 秒 ,  応答時間 ,  印刷技術 ,  金属酸化物 ,  ガスセンサ