文献

J-GLOBAL ID：201902230762091246   整理番号：19A2913808

パリレンを用いたMEMSガスセンサの性能評価

Performance Assessment of Parylene-Based MEMS Gas Sensors

著者 (3件)： YEH Cheng-Han (Univ. of Tokyo, Tokyo) ,  SUZUKI Yuji (Univ. of Tokyo, Tokyo) ,  MORIMOTO Kenichi (Univ. of Tokyo, Tokyo)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
巻： 8th  ページ： ROMBUNNO.31pm3-PN-52  発行年： 2017年 
JST資料番号： L8358B  ISSN： 2432-9495  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,様々な用途に応じたガス分析技術の小型化に対する需要が高まっている。本研究では,低消費電力型の高感度MEMSガスセンサの開発を目的とする。本報では,パリレンEを用いた静電容量型ガスセンサの動的/静的特性を実験的に測定し,VOCガスセンシング材料としての特性を総合的に評価した。特に,最大容量変化/時間応答性に対する高精度測定結果に基づき,非極性VOCに対する高い感度特性および極性VOCとの高い選択性を明らかにした。(著者抄録)

シソーラス用語： *ポリキシリレン ,  *ガスセンサ ,  性能評価 ,  静特性 ,  動特性 ,  揮発性有機化合物 ,  *静電容量
準シソーラス用語： *MEMSセンサ ,  Parylene

分類 (1件)： R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N)

タイトルに関連する用語 (4件)： パリレン ,  MEMS ,  ガスセンサ ,  性能評価