文献

J-GLOBAL ID：201902231010339730   整理番号：19A0898589

STEM-EDSのためのTES X線マイクロカロリメータの応答関数の構築【JST・京大機械翻訳】

Construction of Response Function of TES X-ray Microcalorimeter for STEM-EDS

著者 (7件)： Hayashi Tasuku (Institute of Space and Astronautical Science Japan Aerospace Exploration Agency (ISAS/JAXA), Kanagawa, Japan) ,  Muramatsu Haruka (Institute of Space and Astronautical Science Japan Aerospace Exploration Agency (ISAS/JAXA), Kanagawa, Japan) ,  Maehisa Keisei (Institute of Space and Astronautical Science Japan Aerospace Exploration Agency (ISAS/JAXA), Kanagawa, Japan) ,  Yamasaki Noriko Y. (Institute of Space and Astronautical Science Japan Aerospace Exploration Agency (ISAS/JAXA), Kanagawa, Japan) ,  Mitsuda Kazuhisa (Institute of Space and Astronautical Science Japan Aerospace Exploration Agency (ISAS/JAXA), Kanagawa, Japan) ,  Maehata Keisuke (Department of Applied Quantum Physics and Nuclear Engineering, Kyushu University, Fukuoka, Japan) ,  Hara Toru (National Institute for Materials Science (NIMS), Ibaraki-ken, Japan)
資料名： IEEE Transactions on Applied Superconductivity  (IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻： 29  号： 5  ページ： ROMBUNNO.2100304.1-4  発行年： 2019年 
JST資料番号： W0177A  ISSN： 1051-8223  CODEN： ITASE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 天体物質の定量的微量分析(例えば,いん石,小惑星から戻った試料)は,著者らの太陽系形成の歴史を理解するための重要な技術である。これを実現するために,材料分析のための走査型透過型電子顕微鏡(STEM)上に遷移端センサ(TES)マイクロ熱量計を用いてエネルギー分散X線分光法(EDS)を開発した。スペクトル解析の系統誤差を低減するために,検出効率と二次元応答行列からなるSTEM-EDSシステムの応答関数を調べ,構築した。後者は異なるエネルギーの入射光子のパルス高さ再分布関数を表す。構築した応答関数を用いて,SiO_2膜の定量的決定を実証し,シリコンに対する酸素の数密度比(=2.29+0.32_-0.29)が統計誤差内の2の期待値と一致することを確認した。さらに,シミュレーションによる濃度決定の系統誤差を調べた。連続スペクトルについての事前知識なしにTES-EDSとSDD(シリコンドリフト検出器)-EDSのシミュレーションスペクトルを解析し,モデル値からのパラメータの系統的偏差がTES-EDSに対して1%より小さく,SDD-EDSに対して10%以上であることを見出した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： パラメータ ,  ケイ素 ,  微量分析 ,  シミュレーション ,  連続スペクトル ,  隕石 ,  *応答関数 ,  小惑星 ,  酸素 ,  期待値 ,  系統誤差 ,  パルス ,  二次元 ,  透過型電子顕微鏡 ,  スペクトル

分類 (5件)： 信号理論  (ND02020G) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  ディジタルフィルタ  (NC04022Z) ,  音声処理  (JE05000E) ,  パターン認識  (JE07000S)

タイトルに関連する用語 (6件)： STEM ,  EDS ,  TES ,  X線マイクロカロリメータ ,  応答関数 ,  構築