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J-GLOBAL ID：201902231246573460   整理番号：19A1414653

梁共振器の熱応答に及ぼす座屈の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of buckling on the thermal response of microelectromechanical beam resonators

著者 (4件)： Zhang Y. (Center for Photonics Electronics Convergence, Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Hosono S. (Center for Photonics Electronics Convergence, Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Nagai N. (Center for Photonics Electronics Convergence, Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan) ,  Hirakawa K. (Center for Photonics Electronics Convergence, Institute of Industrial Science, University of Tokyo, 4-6-1 Komaba, Meguro-ku, Tokyo 153-8505, Japan)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 111  号： 2  ページ： 023504-023504-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 入力加熱パワーの関数として二重クランプ微小電気機械(MEMS)ビーム共振器の熱応答を調べた。MEMSビームに少量の熱(<1mW)を印加すると,共振周波数の減少が観測される。しかし,加熱パワーがさらに増加すると,共振周波数レベルは上昇し始め,それはビームの座屈に起因する。大きい入力パワーでの周波数増加の勾配は,小入力パワーでの周波数減少のそれより2~3倍急であり,座屈素子は線形性を劣化させることなく,より大きな加熱パワーを取ることができることを見出した。これらの観察は,適切な量の座屈を導入することにより,熱感度とダイナミックレンジの両方を改善できることを示唆した。この洞察を用いて,GaAs基板上に歪んだIn_xGa_1-_xAs(x=0.001)ビーム構造を用いて,座屈MEMSビーム共振器を作製した。In_xGa_1-xAsビーム試料の周波数応答性はGaAsビーム試料のそれよりも約3倍高く,座屈の導入がMEMSビーム共振器に対するより高い熱感度を達成するために有用であることを示した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 熱感度 ,  *熱応答 ,  ダイナミックレンジ ,  ヒ化ガリウム ,  *共振器 ,  MEMS ,  共振周波数 ,  線形性 ,  クランプ ,  周波数応答

分類 (2件)： 半導体レーザ  (BD04070L) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 梁 ,  共振器 ,  熱応答 ,  座屈