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J-GLOBAL ID：201902231527909539   整理番号：19A0207827

広範囲の二次元ナノ変位台の制御および非線形キャリブレーションの実験的研究【JST・京大機械翻訳】

Experimental Research on the Control and Non-linear Calibration of Large-scale Two-dimensional Nanometer Displacement Stage

著者 (7件)： Zhou Qi (浙江理工大学机械与自動控制学院,浙江杭州310018;中国計量科学研究院,北京100029) ,  Liu Bingfeng (北京信息科技大学儀器科学与光電工程学院,北京,100192) ,  Lian Xiaoyi (中国計量科学研究院,北京,100029) ,  Chen Benyong (浙江理工大学机械与自動控制学院,浙江杭州,310018) ,  Huang Lu (中国計量科学研究院,北京,100029) ,  Li Qi (中国計量科学研究院,北京,100029) ,  Gao Sitian (中国計量科学研究院,北京,100029)
資料名： Jiliang Xuebao  (Jiliang Xuebao)
巻： 39  号： 6  ページ： 771-776  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2540A  ISSN： 1000-1158  CODEN： JIXUEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： レーザ干渉計の測定原理に基づく三軸微小変位測定システムを構築し、広範囲二次元ナノ変位台の制御及び非線形キャリブレーションに対して実験研究を行った。二重周波数レーザ干渉計の計測システム構成を紹介し、ナノ変位台の制御プログラムとレーザー干渉計のデータ収集プログラムを編集し、変位台の非線形キャリブレーション方法を述べ、実験を通じて多項式3次フィッティングと3次区分フィッティングの差を比較し、キャリブレーション方法の正確性を検証した。実験結果は以下を示した。3次区分フィッティングを用いたキャリブレーション法の効果は良好で,キャリブレーション前,x軸の最大非線形誤差は4.052μm,y軸の最大非線形誤差は2.927μmであった。キャリブレーション後,x軸の最大非線形誤差は15nmであり,y軸の最大非線形誤差は17nmであり,元の非線形誤差の1%であった。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *二次元 ,  計測システム ,  レーザ干渉計 ,  多項式 ,  制御プログラム ,  データ収集
準シソーラス用語： 正確性 ,  三軸 ,  計測原理 ,  実験研究 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 変位 ,  非線形 ,  キャリブレーション ,  実験的研究