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J-GLOBAL ID：201902231825810286   整理番号：19A0524396

位相スイッチインピーダンス変調に基づく調整可能なインピーダンス整合ネットワーク【JST・京大機械翻訳】

Tunable impedance matching networks based on phase-switched impedance modulation

著者 (3件)： Jurkov Alexander S. (Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, MA) ,  Radomski Aaron (MKS Instruments, Inc., Rochester, NY) ,  Perreault David J. (Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, MA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ECCE  ページ： 947-954  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 正確で,迅速で動的に制御されたインピーダンス整合を提供する能力は,広い範囲の現在および出現する高周波(RF)電力応用に対して大きな利点を提供する。本研究では,従来の技術で利用できるよりもはるかに高速でより正確なインピーダンス整合の組合せを可能にする新しいタイプの可変同調インピーダンス整合ネットワーク(TMN)を開発した。この実装は,位相スイッチインピーダンス変調(PSIM)と呼ばれる狭帯域技術に基づいており,RF動作周波数における受動素子のスイッチングを必要とし,それらのインピーダンスを効果的に変調する。提案した手法により,素子寄生の吸収とアクティブデバイスのゼロ電圧スイッチング(ZVS)を提供し,ZVS動作を動作条件にわたって維持することを可能にする制御技術を導入した。誘導結合プラズマ過程に適した負荷インピーダンス範囲にわたって50オームの整合を提供するプロトタイプのPSIMベースのTMNを開発した。プロトタイプTMNは最大150Wの入力RF電力レベルで13.56MHzを中心とする周波数で動作する。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 誘導結合プラズマ ,  *インピーダンス整合 ,  *位相 ,  高速度 ,  HF【周波数】 ,  零電圧スイッチング ,  *ネットワーク ,  プロトタイプ ,  狭帯域 ,  入力インピーダンス ,  *インピーダンス
準シソーラス用語： 能動素子 ,  受動素子 ,  動作周波数 ,  可変同調 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 位相 ,  インピーダンス ,  変調 ,  インピーダンス整合