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J-GLOBAL ID：201902235135568280   整理番号：19A2100842

多重周波数動作のための新しい容量性RF-MEMSスイッチ【JST・京大機械翻訳】

A novel capacitive RF-MEMS switch for multi-frequency operation

著者 (5件)： Angira Mahesh (Birla Institute of Technology and Science, Pilani, Rajasthan, India) ,  Bansal Deepak (Central Electronics Engineering Research Institute, Pilani, Rajasthan, India) ,  Kumar Prem (Central Electronics Engineering Research Institute, Pilani, Rajasthan, India) ,  Mehta Khusbu (Central Electronics Engineering Research Institute, Pilani, Rajasthan, India) ,  Rangra Kamaljit (Central Electronics Engineering Research Institute, Pilani, Rajasthan, India)
資料名： Superlattices and Microstructures  (Superlattices and Microstructures)
巻： 133  ページ： Null  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0600B  ISSN： 0749-6036  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,新しい容量性RF-MEMSスイッチを報告した。提示した装置は周波数再構成可能な特性を有し,マルチバンド無線システムに使用できる。スイッチは,異なる形状の2つの不均一なカンチレバーを通して実現される。カンチレバーの構造は,デバイスのダウン状態におけるインダクタンスの異なる値を達成するために,異なる電気的共振周波数を達成するために保たれている。さらに,提案したデバイスは,堆積SiO_2層におけるスイッチング構造と微小粗さにおける残留応力によって引き起こされるアイソレーション応答のシフトの問題を克服した。この装置は,上記の問題を解決するために伝送線路の中央導体にM-I-Mコンデンサを形成し,従来のブリッジ型構造の代わりに容量スイッチの実装のためのカンチレバー構造の使用も可能にする。測定したアイソレーション応答は,9.4GHz,11.6GHz,および25.2GHzにおいて,それぞれ25.40dB,20.44dB,および30.80dBの3つの最適値を示した。測定した挿入損失は,30GHzまで0.41dBより良かった。機械的特性評価の下で,2つの狭いビームを有するカンチレバーは3.90kHzの共振周波数を示し,単一の狭いビームを有するカンチレバーは4.66kHzの共振周波数を示した。さらに,装置は16V未満のプルイン電圧を測定した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： スイッチング ,  共振周波数 ,  *スイッチ ,  導体 ,  *MEMS ,  インダクタンス ,  コンデンサ ,  伝送線路 ,  挿入損 ,  片持梁 ,  残留応力
準シソーラス用語： プルイン電圧 ,  二層 ,  マルチバンド ,  *RF MEMS , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 容量スイッチ ,  免震 ,  周波数再構成可能性 ,  RF-MEMS

分類 (5件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  磁電デバイス  (NC03100X) ,  半導体結晶の電子構造  (BM02060N) ,  金属-絶縁体-半導体構造  (BM03085X) ,  13-15族化合物を含む半導体-半導体接合  (BM03082Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多重周波数 ,  容量性 ,  RF ,  MEMSスイッチ