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J-GLOBAL ID：201902235385005147   整理番号：19A0907137

金属窒化物を用いたPLD法による非対称MIM構造形成とそのSPP励起と導波特性【JST・京大機械翻訳】

Asymmetric MIM structure formation by PLD technique with metallic nitrides and its SPP excitation and waveguiding characteristics

著者 (3件)： Oshikane Yasushi (Osaka Univ. (Japan)) ,  Nakano Motohiro (Osaka Univ. (Japan)) ,  Ogi Hirotsugu (Osaka Univ. (Japan))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10731  ページ： 1073104-12  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラス表面上の非対称金属絶縁体-金属(MIM)の創製において,実験研究とシミュレーション解析を実施した。すべての金属層は金属窒化物またはセラミックから成る。最近報告された代替プラズモニック材料の中で,窒化チタン(TiN)と窒化ジルコニウム(ZrN)は,可視領域と化学的に安定なプラズモン特性を有するので,金属層の候補である。一方,窒化アルミニウム(AlN)はその透明性,高い屈折率,高い熱伝導率のため絶縁層に使用されている。本研究では,355nmの高出力UV Nd:YAGレーザを用いたパルスレーザ蒸着(PLD)により,セラミックの薄膜蒸着を行った。PLDターゲットは微結晶粉末のホットプレスペレットである。非対称MIM構造は,表面プラズモンポラリトンの励起子として光ファイバプローブの端部に適用されるようになっている。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 微結晶 ,  プラズモン ,  *非対称性 ,  ペレット ,  窒化アルミニウム ,  *励起 ,  *MIM構造 ,  ガラス ,  粉体 ,  *金属 ,  レーザ ,  ホットプレス ,  セラミック ,  可視領域 ,  窒化チタン

分類 (1件)： ポラリトン  (BM02140A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 金属窒化物 ,  PLD法 ,  非対称 ,  MIM構造 ,  SPP ,  励起 ,  導波