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J-GLOBAL ID：201902236020910428   整理番号：19A0189766

酸素プラズマ処理グラフェンのセンシング特性増強【JST・京大機械翻訳】

Sensing Characteristic Enhancement of Oxygen Plasma Treated Graphene

著者 (4件)： Li Hongmei (Department of electrical and computer engineering, Clemson University, Clemson, USA) ,  Singh Austin (Department of electrical and computer engineering, Clemson University, Clemson, USA) ,  Childress Anthony S. (Department of Physics, Clemson University, Clemson, USA) ,  Koley Goutam (Department of electrical and computer engineering, Clemson University, Clemson, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： NMDC  ページ： 1-4  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グラフェンは,その優れた材料特性,すなわち,高い表面対体積比,高い移動度および非常に低いJohnson雑音により,センシング材料として大きな興味を引き付けている。本論文では,センシング能力を高める目的で欠陥を導入するための単層グラフェンの酸素プラズマ処理について報告する。プラズマパワーと露光時間を注意深く調整することにより,低い移動度と高いキャリア濃度を示す欠陥密度を持つグラフェンが,良好な電気的性質を保持しながら得られた。得られたグラフェン層は非常に高い感度とはるかに速い応答時間でNH3ガス分子に応答した。酸素プラズマ処理前後のグラフェンの電気的性質を研究し,センシング特性と比較した。これはプラズマ処理がグラフェンのセンシング能力を高めるための簡単で効果的な方法であることを示している。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 体積率 ,  応答時間 ,  *プラズマ ,  雑音 ,  *プラズマ処理 ,  *グラフェン ,  キャリア密度 ,  電気的性質 ,  移動度 ,  欠陥密度
準シソーラス用語： 露光時間 ,  単層グラフェン ,  材料特性 ,  *酸素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 酸素プラズマ ,  グラフェン ,  センシング ,  増強