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J-GLOBAL ID：201902236235182032   整理番号：19A1952124

フレキシブルTFTのための金属-硝酸塩ベース金属酸化物半導体インクの逆オフセット印刷【JST・京大機械翻訳】

Reverse-Offset Printing of Metal-Nitrate-Based Metal Oxide Semiconductor Ink for Flexible TFTs

著者 (5件)： Leppaeniemi Jaakko (VTT Technical Research Centre of Finland Ltd., Tietotie 3, FI-02150, Espoo, Finland) ,  Sneck Asko (VTT Technical Research Centre of Finland Ltd., Tietotie 3, FI-02150, Espoo, Finland) ,  Kusaka Yasuyuki (Sensing System Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki, 305-8565, Japan) ,  Fukuda Nobuko (Sensing System Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki, 305-8565, Japan) ,  Alastalo Ari (VTT Technical Research Centre of Finland Ltd., Tietotie 3, FI-02150, Espoo, Finland)
資料名： Advanced Electronic Materials  (Advanced Electronic Materials)
巻： 5  号： 8  ページ： e1900272  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2482A  ISSN： 2199-160X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 逆オフセット印刷(ROP)は,良好な厚さ制御と鋭いエッジ定義を有する電子工業関連線幅(≒1μm)を形成することができる新しい印刷技術である。制御された酸素プラズマ処理を通して,ROPのプロセス段階に関連する表面のエネルギーは,有機溶媒中に溶解した金属硝酸塩に基づく簡単な印刷インクを用いて金属-酸化物半導体層のパターン形成を可能にするために最適化できることを実証した。ROPプロセスのステップを,乾燥中のインクの表面エネルギー測定とFourier変換赤外スペクトルを用いて解析した。In_2O_3半導体と蒸着Alソース/ドレイン(S/D)コンタクトのロール対プレートROPを用いて作製した薄膜トランジスタ(TFT)は,平均して,平均で3.1と3.5cm2V-1s-1の移動度と,Si/SiO_2基板上で10~8と10~7までのオン/オフ比を示した。また,Agナノ粒子インクを用いてROPで印刷したS/D接触を有するフレキシブル基板上のTFTは1.4cm~2V~1s-1移動度を示した。プロセスの拡張性を実証するために,In_2O_3の連続線を,約2μmまでの線幅を持つロール対ロール互換(R2R)ROPを用いて印刷した。このプロセスは,柔軟な高分解能センサアレイとディスプレイによって必要とされるように,小型化された金属-酸化物回路をもたらすと期待される。Copyright 2019 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 薄膜トランジスタ ,  *オフセット印刷 ,  最適化 ,  蒸着 ,  *印刷 ,  小型化 ,  移動度 ,  有機溶媒 ,  *インク ,  パターン形成 ,  *硝酸塩 ,  *半導体 ,  表示装置 ,  印刷インク
準シソーラス用語： 銀ナノ粒子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： フレキシブルエレクトロニクス ,  金属酸化物 ,  印刷トランジスタ ,  逆オフセット印刷

分類 (3件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  表面の電子構造  (BM02080J) ,  発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (5件)： TFT ,  硝酸塩 ,  金属酸化物半導体 ,  インク ,  オフセット印刷