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J-GLOBAL ID：201902236321662949   整理番号：19A2900141

スパッタ蒸着薄膜CdTe太陽電池における不活性ガスクラスタ形成【JST・京大機械翻訳】

Inert gas cluster formation in sputter-deposited thin film CdTe solar cells

著者 (8件)： Hatton Peter (School of Science, Loughborough University, LE11 3TU, UK) ,  Goddard Pooja (School of Science, Loughborough University, LE11 3TU, UK) ,  Smith Roger (School of Science, Loughborough University, LE11 3TU, UK) ,  Smith Roger (Laboratory of Nanoelectronics and Nanophotonics, Tomsk State University, Lenin Ave, 36, Tomsk 634050, Russia) ,  Abbas Ali (Centre for Renewal Energy Systems Technology (CREST), Loughborough University, LE11 3TU, UK) ,  Potamialis Christos (Centre for Renewal Energy Systems Technology (CREST), Loughborough University, LE11 3TU, UK) ,  Greenhalgh Rachael (Centre for Renewal Energy Systems Technology (CREST), Loughborough University, LE11 3TU, UK) ,  Walls J.M. (Centre for Renewal Energy Systems Technology (CREST), Loughborough University, LE11 3TU, UK)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 692  ページ： Null  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリングは,優れた均一性を有する膜を生成する比較的低温プロセスであるため,薄膜蒸着に広く用いられている。残念ながら,薄膜CdTeデバイスの堆積のために,マグネトロンからの不活性作動ガスは成長過程の間に膜に組み込まれ,後処理の間に大きな表面下クラスタに凝集する。ガスクラスタはしばしばCdS/CdTe界面で起こり,直径約30μmまでの層間剥離とブリスタが膜表面上で容易に観察された。CdCl_2処理前の高分解能透過型電子顕微鏡を用いて,高温でCdCl_2による後処理後に表面ブリスタが観察されたが,直径数ナノメータのより小さい不活性ガスクラスタが観察された。本論文では,これらの効果を実験的および分子動力学モデリングを用いて調べた。いくつかの提案を,如何に効果が最小化され,より高い効率の太陽デバイスが作られるかについても行った。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *薄膜成長 ,  高温 ,  *薄膜 ,  高分解能 ,  層間剥離 ,  硫化カドミウム ,  成長段階 ,  *テルル化カドミウム ,  顕微鏡観察 ,  *太陽電池 ,  *太陽 ,  *クラスタ ,  *不活性ガス ,  分子動力学 ,  マグネトロン ,  界面

著者キーワード (6件)： Argon気泡 ,  高分解能Electron顕微鏡法 ,  分子動力学 ,  テルル化カドミウム ,  マグネトロンスパッタリング ,  太陽電池

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッタ ,  蒸着薄膜 ,  CdTe ,  太陽電池 ,  不活性ガス ,  クラスタ形成