抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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シリコンビア(TSV)に基づく三次元集積回路(3D IC)はIC技術の劇的な変化をもたらした。TSVは3Dスタックの異なる層を接続するので,それらの適切な機能はシステム運用のための必須条件である。従って,TSVの試験は3D ICに必須である。本論文では,3D ICにおけるTSVのポストボンド試験のために,費用対効果の高い構築自己試験(BIST)機構を提案した。試験方法は,最小ハードウェアによる低いテスト時間を用いて,単一および複数の欠陥のあるTSVを同定することを目的とした。試験に必要な時間サイクルを計算し,以前に提案した方法と比較した。シミュレーション結果は,提案したBIST回路が試験時間サイクルとハードウェア要求に関して以前のBIST技術よりも有益であることを示した。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】