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J-GLOBAL ID：201902237341928472   整理番号：19A1553976

火炎エッチングを用いた3S内のタングステンチッププローブの作製【JST・京大機械翻訳】

Fabrication of tungsten tip probes within 3 s by using flame etching

著者 (7件)： Yamaguchi Takayuki (Department of Materials Science, Chiba University, 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba 263-8522, Japan) ,  Inami Eiichi (Department of Materials Science, Chiba University, 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba 263-8522, Japan) ,  Goto Yuto (Department of Materials Science, Chiba University, 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba 263-8522, Japan) ,  Sakai Yuta (Department of Materials Science, Chiba University, 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba 263-8522, Japan) ,  Sasaki Satoru (Department of Materials Science, Chiba University, 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba 263-8522, Japan) ,  Ohno Teruaki (Technex Lab Co. Ltd., 8-4-4, Naruse Machida-shi, Tokyo 194-0044, Japan) ,  Yamada Toyo Kazu (Department of Materials Science, Chiba University, 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba 263-8522, Japan)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 90  号： 6  ページ： 063701-063701-8  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： タングステン(W)チップは,最高の沸騰温度でのロバスト性のため,標準チッププローブとして使用されてきた。使用事例は走査電子顕微鏡(SEM)用の電界放出(FE)電子源と走査プローブ顕微鏡チップを含む。Wチッププローブは一般的に水溶液による化学エッチングプロセスにより作製されている。本研究では,新しい方法-火炎エッチングを提案した。水溶液を使用せずに,Wチッププローブを空気中で3秒以内に作製することに成功した。これは非常に迅速で便利であり,大量生産(さらに高価なセットアップが必要でない)にとって有益である。Wワイヤを酸素液化石油(O_2+LP)ガス火炎(~2300Kの最高温度を与える)に数秒間マイクロトーチを通して単純に得た。得られたWチップは原子分解走査トンネル顕微鏡画像を提供した。また,FE電子は~10~6V/mを適用することにより検出されるので,チップはFE-SEM源として使用できる。W表面上のWO_3の発生と蒸発は,先端形状を形成するための重要なプロセスである。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電子顕微鏡観察 ,  大量生産 ,  走査電子顕微鏡 ,  *エッチング ,  水溶液 ,  最高気温 ,  電界放出 ,  電子源 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  *タングステン ,  金属線 ,  画像 ,  ウェットエッチング ,  *プローブ ,  液化
準シソーラス用語： 電界放出型走査電子顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 火炎 ,  エッチング ,  作製