文献

J-GLOBAL ID：201902237542473510   整理番号：19A0157411

Sr-Ta-O膜のラジカル窒化における結晶構造および誘電特性に対する成膜酸素圧力の影響

著者 (1件)： 山崎久美子 (TDK)
資料名： 日本セラミックス協会秋季シンポジウム講演予稿集(CD-ROM)
巻： 31st  ページ： ROMBUNNO.3G21  発行年： 2018年08月27日 
JST資料番号： L2240B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： タンタル酸塩 ,  ストロンチウム化合物 ,  *酸化物 ,  *薄膜 ,  窒化物 ,  *結晶構造 ,  分圧 ,  酸素 ,  圧力効果 ,  誘電率 ,  *イオン窒化 ,  ラジカル
準シソーラス用語： ラジカル窒化 ,  *酸化物薄膜 ,  酸素分圧

分類 (1件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (7件)： Sr ,  Ta ,  ラジカル窒化 ,  結晶構造 ,  誘電特性 ,  成膜 ,  酸素圧