文献
J-GLOBAL ID：201902239436947869
整理番号：19A2094780
新しい面外電熱双安定マイクロアクチュエータ【JST・京大機械翻訳】
A Novel Out-of-Plane Electrothermal Bistable Microactuator
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著者 (2件)：
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資料名：
巻：
2019
号：
TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII
ページ：
1953-1956
発行年：
2019年
JST資料番号：
W2441A
資料種別：
会議録 (C)
記事区分：
原著論文
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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本論文では,逆直列接続(ISC)Cu/Wベースの多量体から成る面外双安定電熱マイクロアクターについて報告した。S型ISC多形は,以前に大きな垂直変位を発生させるために採用されてきた。本研究では,ISC多形体を,予応力Wおよび不平衡SiO_2カプセル化層を介して,反り形状に加工した。反りされたISC多形に基づく電熱双安定アクチュエータを製作し試験した。25μmの双安定垂直変位を得た。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (3件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
図形・画像処理一般
, 符号理論
, 計算機網
タイトルに関連する用語 (2件)：
タイトルに関連する用語
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