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J-GLOBAL ID：201902239612232243   整理番号：19A0177267

大面積高導電性透明二次元Ti_2CT_x膜【JST・京大機械翻訳】

Large-Area Highly Conductive Transparent Two-Dimensional Ti₂CT_x Film

著者 (5件)： Yang Yajie (SKKU Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University (SKKU), Korea) ,  Umrao Sima (SKKU Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University (SKKU), Korea) ,  Lai Shen (SKKU Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University (SKKU), Korea) ,  Lee Sungjoo (SKKU Advanced Institute of Nanotechnology (SAINT), Sungkyunkwan University (SKKU), Korea) ,  Lee Sungjoo (School of Electronics and Electric Engineering, Sungkyunkwan University (SKKU), Korea)
資料名： Journal of Physical Chemistry Letters  (Journal of Physical Chemistry Letters)
巻： 8  号： 4  ページ： 859-865  発行年： 2017年 
JST資料番号： W3687A  ISSN： 1948-7185  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大面積Ti_2CT_x薄片のコロイド溶液中のAl_2O_3基板のディップコーティングにより,均一透明導電性薄膜(MXeneの一つ)を作製する簡単で拡張可能な方法を報告した。走査電子顕微鏡と原子間力顕微鏡画像は,全基板を覆うウエハスケールの均一なTi_2CT_x薄膜(~5nm)を示した。シート抵抗は86%透過率で70Ω/sqと低く,40.7の高性能指数(FOM)に対応した。さらに,膜の厚さは,SF_6+Arプラズマ処理により調整され,Ti_2CT_x膜層を層によりエッチし,Ti_2CT_xフレークの底層に影響することなく,上部酸化層を除去した。プラズマ処理したTi_2CT_x膜の抵抗率は,89%の改善された透過率と51.3のFOMにより,さらに63Ω/sqに減少し,将来の透明導電性電極応用のためのTi_2CT_xの有望性を実証した。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 性能指数 ,  プラズマ処理 ,  画像 ,  原子間力顕微鏡 ,  *二次元 ,  シート抵抗 ,  透過率 ,  薄膜 ,  基板 ,  電気抵抗率 ,  浸漬塗装 ,  *導電性 ,  走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： MXene ,  *大面積 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 大面積 ,  高導電性