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J-GLOBAL ID：201902239627279210   整理番号：19A1891677

高感度ウェアラブル圧力センサ用の銀ナノ結晶を用いた化学的に設計した金属/絶縁ハイブリッドナノ構造【JST・京大機械翻訳】

Chemically Designed Metallic/Insulating Hybrid Nanostructures with Silver Nanocrystals for Highly Sensitive Wearable Pressure Sensors

著者 (8件)： Kim Haneun (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ,  Lee Seung-Wook (Department of Semiconductor Systems Engineering, Korea University) ,  Joh Hyungmok (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ,  Seong Mingi (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ,  Lee Woo Seok (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ,  Kang Min Su (Department of Materials Science and Engineering, Korea University) ,  Pyo Jun Beom (Photo-Electronic Hybrids Research Center, Korea Institute of Science and Technology, Republic of Korea) ,  Oh Soong Ju (Department of Materials Science and Engineering, Korea University)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 10  号： 1  ページ： 1389-1398  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： e-スキンのための着用可能な触覚圧力センサにおける関心の増加により,高感度を達成するためのナノ構造を作る研究が活発に行われている。しかし,高価な装置を用いた複雑な製造プロセスのような限界がまだ存在している。ここでは,ナノ結晶(NC)を利用したピラミッド状金属/絶縁体ハイブリッドナノ構造を開発するための簡単なリソグラフィーフリー技術を実証した。配位子交換及び非交換銀NC薄膜をそれぞれ金属及び絶縁成分として用いた。各NC層の界面を化学的に設計し,不連続絶縁層,すなわち,改善された感度のためのスペーサ,および最終的に完全な溶液処理圧力センサを実現した。構造的,化学的および電子的特性化および導電性原子間力顕微鏡研究によるデバイス性能分析は,ハイブリッドナノ構造ベース圧力センサが500kPa(-1)より高い感度,信頼性および広い範囲の圧力センシングによる低消費電力を示すことを明らかにした。ナノ/ミクロ階層構造も,従来の微細構造とハイブリッドナノ構造を組み合わせることによって設計され,さらに増強されたセンシング範囲を示し,2.72×10~4kPa(-1)の記録感度を達成した。最後に,高い画素密度を有する全溶液処理圧力センサアレイを,人間の触覚閾値よりはるかに良い空間選択性を有する微妙な信号を検出することができることを紹介した。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 薄膜 ,  スペーサ ,  触覚 ,  界面 ,  センサアレイ ,  *圧力センサ ,  不連続性 ,  角錐 ,  キャラクタリゼーション ,  微細構造 ,  *ナノ結晶 ,  *ナノ構造 ,  *高感度 ,  *銀 ,  *ウェアラブル

著者キーワード (5件)： ウェアラブル圧力センサ ,  ナノ結晶 ,  ハイブリッドナノ構造 ,  溶液プロセス ,  界面工学

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (9件)： 高感度 ,  ウェアラブル ,  圧力センサ ,  銀 ,  ナノ結晶 ,  化学 ,  設計 ,  絶縁 ,  ナノ構造