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J-GLOBAL ID：201902239672728006   整理番号：19A1414907

単結晶石英における機械的および光学的ナノデバイス【JST・京大機械翻訳】

Mechanical and optical nanodevices in single-crystal quartz

著者 (4件)： Sohn Young-Ik (John A. Paulson School of Engineering and Applied Sciences, Harvard University, 29 Oxford Street, Cambridge, Massachusetts 02138, USA) ,  Miller Rachel (John A. Paulson School of Engineering and Applied Sciences, Harvard University, 29 Oxford Street, Cambridge, Massachusetts 02138, USA) ,  Venkataraman Vivek (John A. Paulson School of Engineering and Applied Sciences, Harvard University, 29 Oxford Street, Cambridge, Massachusetts 02138, USA) ,  Loncar Marko (John A. Paulson School of Engineering and Applied Sciences, Harvard University, 29 Oxford Street, Cambridge, Massachusetts 02138, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 111  号： 26  ページ： 263103-263103-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最も広く使われている圧電材料の一つである単結晶α-石英は広範囲のタイミング応用を可能にした。集積薄膜ベースの石英プラットフォームが利用できないという事実のために,これらの応用のほとんどは巨視的なバルク結晶ベースのデバイスに依存している。ここでは,Faradayケージ角度エッチング技術を用いて,石英中のナノスケール電気機械およびフォトニック素子を実現できることを示した。この方法を用いて,それぞれ4900と8900のQsを特徴とする石英ナノ機械的カンチレバーとリング共振器を実証した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 保持器 ,  電気機械 ,  *石英 ,  リング共振器 ,  エッチング ,  片持梁 ,  *単結晶 ,  圧電材料 ,  薄膜
準シソーラス用語： ナノマシン ,  フォトニックデバイス ,  ナノスケール ,  バルク結晶 ,  *ナノデバイス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 単結晶 ,  石英 ,  光学 ,  ナノデバイス