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J-GLOBAL ID：201902240279280508   整理番号：19A0770828

薄膜点状島初期成長における平均捕獲数の空間次元依存性

Spatial dimension dependence for the average capture number in submonolayer growth of point islands

著者 (1件)： 中井日佐司 (電通大)
資料名： 電気通信大学紀要(Web)  (Bulletin of the University of Electro-Communications (Web))
巻： 31  号： 1  ページ： ROMBUNNO.310108 (WEB ONLY)  発行年： 2019年02月01日 
JST資料番号： U0159A  ISSN： 0915-0935  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 基板の空間次元d≧3での核形成を無視した定常状態拡散方程式解析を用いて,平均単量体捕獲数σ-_avは,点状島のサブ単分子層成長においてσ-_av=(d-2)Ω_dr^d-2₀/(1+V)であることが分かり,ここで,Ω_dはd次元単位球の面積,r₀はポイントアイランドの半径,Vは捕獲領域の体積のスケールされた分散である。分散が1と比較して無視できるならば,この式はKMCの結果を再現する捕獲数σ-^*_d:=(d-2)Ω_dr^d-2₀と一致した。R→∞のとき,更なる解析は,分散がV~R-(d-2)/(3d)のようなRに依存することを示し,ここで,Rは堆積速度に対する単量体拡散速度の比である。したがって,Vは十分に大きいRに対して1と比較して無視できる。一方,空間次元d=2では,分散の依存性はV~(lnR)^-1である。d≧3の依存性と比較して弱い依存性を示した。上記の結果から,以前の研究では議論されていなかった分散Vに対するR依存性を,d≧2におけるR→∞として得た。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *薄膜成長 ,  *成長 ,  次元 ,  *結晶核形成 ,  拡散方程式 ,  単量体 ,  単分子層 ,  効果 ,  拡散速度 ,  状態
準シソーラス用語： 次元効果 ,  *初期成長 ,  低次元 ,  定常状態 ,  *島状成長 ,  捕獲数

分類 (2件)： 薄膜一般  (BK14010X) ,  結晶成長一般  (BK13010Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜 ,  初期成長 ,  平均 ,  捕獲数 ,  次元 ,  依存性