放射光を用いたアモルファスIn<sub>2</sub>O<sub>3</sub>系薄膜の結晶化に関する評価

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J-GLOBAL ID：201902242308467384 整理番号：19A2685126

放射光を用いたアモルファスIn₂O₃系薄膜の結晶化に関する評価

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巻： 2017 ページ： 10-12 発行年： 2019年01月
JST資料番号： F1818A ISSN： 1881-3402 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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