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J-GLOBAL ID：201902242901525303   整理番号：19A1415942

窒化ケイ素膜中のAuナノ粒子の核形成と成長に対するElectron照射効果【JST・京大機械翻訳】

Electron irradiation effects on the nucleation and growth of Au nanoparticles in silicon nitride membranes

著者 (5件)： Timm M. M. (Programa de Pos-Graduacao em Ciencia dos Materiais, Universidade Federal do Rio Grande do Sul, Porto Alegre 91501-970, Brazil) ,  Fabrim Z. E. (Instituto de Fisica, Universidade Federal do Rio Grande do Sul, Porto Alegre 91501-970, Brazil) ,  Marin C. (Programa de Pos-Graduacao em Ciencia dos Materiais, Universidade Federal do Rio Grande do Sul, Porto Alegre 91501-970, Brazil) ,  Baptista D. L. (Instituto de Fisica, Universidade Federal do Rio Grande do Sul, Porto Alegre 91501-970, Brazil) ,  Fichtner P. F. P. (Programa de Pos-Graduacao em Ciencia dos Materiais, Universidade Federal do Rio Grande do Sul, Porto Alegre 91501-970, Brazil)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 122  号： 16  ページ： 165301-165301-9  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Au+イオン注入窒化けい素薄膜と膜におけるAuナノ粒子(NPs)の形成を,80,120,160,および200keVのエネルギーでのポスト注入熱処理または室温電子照射の関数として調べた。試料をRutherford後方散乱分光法と透過Electron顕微鏡によって特性化した。高温熱アニーリング(1100°C,1h)は平均直径≒1.3nmのAu粒子の形成をもたらした。比較において,80から200keVまでのエネルギーでの室温電子照射は,2つの成長領域に従ってより大きなAu粒子の形成を引き起こした。第一の領域は遅い成長速度によって特性化され,窒化ケイ素膜内で起こる。第二の領域は速い成長速度を示し,Au原子が膜の背面自由表面に露出すると開始する。現実的な二元電子-原子弾性衝突断面積を用いて,観察されたナノ粒子成長と膜スパッタリング現象を解析した。得られた結果は,NとSi原子のスパッタリングに対する臨界変位エネルギーが約14±3eVの場合,二元電子-原子弾性衝突が微細構造の修正を説明でき,表面に位置するAu原子の変位エネルギーは約1.25±0.2eVであることを示した。集束電子プローブを用いた照射実験は,このプロセスがナノ粒子形成の微細な制御を提供し,明確なサイズと位置をもたらすことを実証した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： スパッタリング ,  *金 ,  高温 ,  *窒化 ,  *核形成 ,  弾性散乱 ,  キャラクタリゼーション ,  弾性 ,  成長速度 ,  イオン注入 ,  微細構造 ,  *ナノ粒子 ,  エネルギー ,  電子照射
準シソーラス用語： *金ナノ粒子 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒化ケイ素膜 ,  Auナノ粒子 ,  核形成 ,  成長 ,  照射効果