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J-GLOBAL ID：201902242963905509   整理番号：19A1829770

単一事象飛行時間Rutherford後方散乱分光法における三次電子【JST・京大機械翻訳】

Tertiary electrons in single-event time-of-flight Rutherford backscattering spectrometry

著者 (4件)： Abo Satoshi (Graduate School of Engineering Science, Osaka University, 1-3, Machikaneyama, Toyonaka, Osaka 560-8531, Japan) ,  Seidl Albert (Department of Engineering Science and Industrial Design, Magdeburg-Stendal University of Applied Sciences, Breitscheidstrasse 2, 39114 Magdeburg, Germany) ,  Wakaya Fujio (Graduate School of Engineering Science, Osaka University, 1-3, Machikaneyama, Toyonaka, Osaka 560-8531, Japan) ,  Takai Mikio (Graduate School of Engineering Science, Osaka University, 1-3, Machikaneyama, Toyonaka, Osaka 560-8531, Japan)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 456  ページ： 12-15  発行年： 2019年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単一イベント三次元飛行時間(ToF)Rutherford後方散乱分光法(RBS)の解析時間と時間分解能に及ぼす試料バイアス電圧の影響を実験とシミュレーションの両方で評価した。二次電子の軌跡のゆらぎは正の試料バイアス電圧により抑制され,二次電子の大部分は二次電子検出器により収集され,単一イベント三次元ToF-RBSにおいて短い分析時間と高い時間分解能をもたらした。反対に,試料とFIBカラムの間の電場により加速された二次電子の入射により,負の試料バイアス電圧は集束イオンビーム(FIB)カラムで三次電子を誘起した。三次電子は解析時間を改善するが,負の試料バイアス電圧をもつ単一イベント三次元ToF-RBSにおける時間分解能を劣化させる。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *三次元 ,  集束イオンビーム ,  時間分解能 ,  ゆらぎ ,  電場 ,  Rutherford散乱分光法 ,  軌跡
準シソーラス用語： 分析時間 ,  電子検出器 ,  二次電子 ,  バイアス電圧 ,  *飛行時間 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Rutherford後方散乱分光法(RBS) ,  核ナノプローブ ,  飛行時間(TOF) ,  集束イオンビーム(FIB) ,  三次元解析 ,  非破壊分析

分類 (5件)： 有機物質中の元素の物理分析  (CC03032S) ,  Auger電子放出,二次電子放出  (BM09040O) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  薄膜一般  (BK14010X) ,  電子源,イオン源  (BD02020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 単一事象 ,  飛行時間 ,  Rutherford後方散乱分光法 ,  電子