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J-GLOBAL ID：201902244392301697   整理番号：19A1196132

カンチレバー型プッシュプル容量加速度計構造に及ぼす残留応力の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of Residual Stress on Cantilever Type Push-Pull Capacitive Accelerometer Structure

著者 (5件)： Gupta Nidhi (Solid State Physics Laboratory (DRDO), Timarpur, Delhi, India) ,  Shaveta (Solid State Physics Laboratory (DRDO), Timarpur, Delhi, India) ,  Dutta Shankar (Solid State Physics Laboratory (DRDO), Timarpur, Delhi, India) ,  Pal Ramjay (Solid State Physics Laboratory (DRDO), Timarpur, Delhi, India) ,  Jain Kapil Kumar (Solid State Physics Laboratory (DRDO), Timarpur, Delhi, India)
資料名： Springer Proceedings in Physics  (Springer Proceedings in Physics)
巻： 215  ページ： 951-954  発行年： 2019年 
JST資料番号： W5066A  ISSN： 0930-8989  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,静電容量プッシュプル加速度計構造の応答に及ぼす残留応力の影響を提示した。有限要素法(FEM)に基づくソフトウェアを用いて,構造に及ぼす残留応力の影響をシミュレーションした。種々の製造プロセスに関連する残留応力による加速度計たわみのオフセットをトリミングする簡単なモデルを提案した。Copyright 2019 Springer Nature Switzerland AG Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： たわみ ,  ソフトウェア ,  *片持梁 ,  生産工程 ,  オフセット ,  *残留応力 ,  有限要素法 ,  *加速度計 ,  静電容量 ,  モデル

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (4件)： カンチレバー ,  プッシュプル ,  加速度計 ,  残留応力