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文献
J-GLOBAL ID:201902244412190474   整理番号:19A0312674

X線マイクロビームの正常回折限界深さより深い焦点を提供する逆位相複合ゾーンプレート【JST・京大機械翻訳】

Inverse-phase composite zone plate providing deeper focus than the normal diffraction-limited depth of X-ray microbeams
著者 (2件):
資料名:
巻: 26  号:ページ: 52-58  発行年: 2019年
JST資料番号: W0763A  ISSN: 0909-0495  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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逆位相複合ZPと呼ばれる新しいタイプのゾーンプレート(ZP)を提案し,空間分解能をほとんど減少させることなく,焦点の標準回折限界深さより深い焦点を得た。この構造は,従来の位相ZPとして機能する内部ZPと,内部ZPに対して逆位相を有する三次回折で機能する外部ZPの組合せである。焦点に隣接する二次元複素振幅分布を,一次元が半径方向であり,他の次元が光学軸方向である単色平面波照明との回折積分の波動光学的アプローチを用いて計算した。焦点深度と空間分解能を主な集束特性として調べた。焦点深度に関する二つの特徴的な有望な事例が見出された。すなわち,焦点深度が最も深い場合には,ピット強度が焦点深度に焦点を合わせており,通常のZPより深い焦点深度をもつ平坦な強度に焦点を合わせている。焦点深度の2倍は,10keVのX線エネルギー,タンタル帯材料,84nmの最小製作ゾーン幅,および2.645μmのゾーン厚さに対する空間分解能のわずかな減少で期待できることが分かった。また,焦点深度と空間分解能は8~12keVの光子エネルギー範囲でほとんど変化しないことが分かった。逆相複合ZPは,X線マイクロビーム応用における実用的な厚い試料の分析に使用するための高い可能性を有している。Copyright 2019 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (3件):
分類
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X線回折法  ,  X線技術  ,  基礎放射線医学 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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