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J-GLOBAL ID：201902244894408971   整理番号：19A1778993

ミスト化学蒸着により成長させた熱電AlドープZnO薄膜における多孔度調整熱伝導率【JST・京大機械翻訳】

Porosity-tuned thermal conductivity in thermoelectric Al-doped ZnO thin films grown by mist-chemical vapor deposition

著者 (11件)： Saini Shrikant (Department of Mechanical Engineering, Kyushu Institute of Technology, Kitakyushu, Japan) ,  Mele Paolo (Shibaura Institute of Technology, SIT Research Laboratories, Tokyo, Japan) ,  Oyake Takafumi (Thermal Energy Engineering Laboratory, University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Shiomi Junichiro (Thermal Energy Engineering Laboratory, University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Niemelae Janne-Petteri (Department of Chemistry, Aalto University, Aalto, Finland) ,  Karppinen Maarit (Department of Chemistry, Aalto University, Aalto, Finland) ,  Miyazaki Koji (Department of Mechanical Engineering, Kyushu Institute of Technology, Kitakyushu, Japan) ,  Li Chaoyang (School of Systems Engineering, Kochi University of Technology, Kochi, Japan) ,  Kawaharamura Toshiyuki (School of Systems Engineering, Kochi University of Technology, Kochi, Japan) ,  Ichinose Ataru (Central Research, Institute of Electric Power Industry (CRIEPI), Yokosuka, Japan) ,  Molina-Luna Leopoldo (Department of Materials and Earth Sciences, Technische Universitaet Darmstadt, Darmstadt, Germany.)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 685  ページ： 180-185  発行年： 2019年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱電薄膜の可能性は,マイクロエネルギー収穫からセンサへの広範囲の応用にある。このために,高価な真空技術により作製された薄膜で報告されている高い力率と超低熱伝導率を持つことが不可欠である。しかし,実用化のためには,大面積の薄膜を成長させるために安価な技術を用いることが不可欠である。この方向において,熱電応用のための酸化物薄膜を開発するために,化学蒸着(CVD)技術の使用を報告する。2%AlドープZnO(AZO)のc軸配向ナノ多孔質薄膜を成長させた。これらのナノ多孔質膜は,真空法により調製された高密度膜で報告されているように,熱伝導率(κ)の低下をもたらすフォノン散乱を増強したが,パワーファクタの類似の大きさを維持した。例えば,κ_300Kは6.5W/mから減少した。パルスレーザ蒸着により5.54W/mまで成長させた緻密な薄膜(空隙率=7.9%)に対するK。SrTiO_3上に堆積したAZO膜に対して類似の大きさの力率を維持しながら,ミストCVDにより成長させた多孔質膜(気孔率=24.2%)に対するK。多孔質膜における熱伝導率の低下は,熱電酸化膜の実用化に有望な高い性能指数をもたらす可能性がある。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： パルスレーザ蒸着 ,  *空隙率 ,  *薄膜 ,  酸化膜 ,  多孔質体 ,  センサ ,  *熱伝導率 ,  *化学蒸着 ,  力率 ,  *ミスト
準シソーラス用語： 多孔質膜 ,  フォノン散乱 ,  酸化物薄膜 ,  低価格 ,  大面積 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 酸化亜鉛 ,  多孔性 ,  熱電効果 ,  薄膜 ,  酸化物 ,  ミスト化学蒸着

分類 (4件)： 非金属のその他の熱的性質  (BL05040J) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  比熱・熱伝導一般  (BL05021E)

タイトルに関連する用語 (7件)： ミスト ,  化学蒸着 ,  成長 ,  AlドープZnO ,  薄膜 ,  多孔度 ,  熱伝導率