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J-GLOBAL ID:201902245017757798   整理番号:19A1409637

普遍的ナノパターン形成法により作製した強誘電ナノドットアレイにおけるエキゾチック分域構造の観察【JST・京大機械翻訳】

Observation of Exotic Domain Structures in Ferroelectric Nanodot Arrays Fabricated via a Universal Nanopatterning Approach
著者 (11件):
資料名:
巻:号: 42  ページ: 37219-37226  発行年: 2017年10月25日 
JST資料番号: W2329A  ISSN: 1944-8244  CODEN: AAMICK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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強誘電体エピタキシャル薄膜上に置かれた単層ポリスチレン球(PS)アレイを通してArイオンビームエッチングを用いて,秩序化した強誘電ナノドットアレイを作製するための,容易でコスト競争的なナノパターン形成ルートについて報告する。この方法を用いて,直径約100~900nmの調整可能なサイズをもつ良く秩序化したBiFeO_3エピタキシャルナノドットを合成することに成功した。興味深いことに,多くのエキゾチックなナノドメイン構造,例えば,ストライプドメイン,渦および反渦ドメイン,および単一ドメインがこれらのナノドットで観察された。さらに,この新しい技術を,Pb-(Zr,Ti)-O_3ナノドットとマルチフェロイック複合Co/BiFeO_3ナノドットを製造するために拡張した。これらの観察は,エキゾチックなドメイン構造の創出を可能にし,将来のナノ電子デバイスのための広範囲の応用可能性を提供する。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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固体デバイス製造技術一般 
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