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J-GLOBAL ID：201902245728012595   整理番号：19A0905112

光回折パターンによるX線反射器の評価【JST・京大機械翻訳】

Evaluation of x-ray reflectors by optical diffraction patterns

著者 (3件)： Hayashi Takayuki (NASA Goddard Space Flight Ctr. (United States)) ,  Okajima Takashi (NASA Goddard Space Flight Ctr. (United States)) ,  Soong Yang (NASA Goddard Space Flight Ctr. (United States))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10699  ページ： 106993X-7  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： X線反射器の性能はX線ミラーの性能に影響する。現代のX線ミラーは数千の反射器を持ち,大きな有効面積を得る。反射器の評価はミラーの生産における重要なプロセスである。平行光ビームが光学軸に沿って反射器を照射するとき,回折パターンは反射器画像を支配する。反射器は約1度のすれすれ入射角度で使用され,その有効幅は1~10mmである。全反射面からの回折パターンをレンズの助けを借りて一度得ることができた。回折パターンは反射器の表面プロフィルの情報を保持した。回折パターンを持つ反射器を定量的に評価するために,理想的な表面プロフィルを持つ波動光学により回折パターンモデルを作成し,データに適合させた。結果として,フィッティング残留と表面プロファイルの法線ベクトル分布の間の相関を見出した。この方法により,反射器を評価し,より効率的に選別できる。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 画像 ,  *反射器 ,  すれすれ入射 ,  反射面 ,  レンズ ,  波動光学 ,  *X線反射
準シソーラス用語： 法線ベクトル ,  光軸 ,  X線ミラー ,  *回折パターン , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  太陽光発電  (NB03090G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 回折パターン ,  X線反射 ,  評価