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{{ $t("message.AD_EXPIRE_DATE") }}2024年03月
文献
J-GLOBAL ID:201902246961661424   整理番号:19A1175000

結晶セレン薄膜を用いたマイクロ可視光センサのためのパターニング技術の開発

Study on Micro Fabrication Technology for the Patterned Se/TiO2 Photodiodes
著者 (2件):
資料名:
巻: 139  号:ページ: 75-80(J-STAGE)  発行年: 2019年 
JST資料番号: L3098A  ISSN: 1341-8939  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本論文では,可視波長での適切なスペクトル応答と共に非常に高い光吸収係数を示す結晶セレン薄膜を用いたフォトダイオードのパターニングプロセスを報告する。セレン(Se)/二酸化チタン(TiO2)ヘテロ接合フォトダイオードを比較的低いプロセス温度(<350°C)で連続的な薄膜蒸着プロセスにより作製でき,リソグラフィーとエッチングプロセスとの組み合わせによりパターニングできる。本研究では,SeとTiO2層との間のテルル挿入層がそれらの密着性に及ぼす影響を実験的に調べる。パターン化フォトダイオード上のプロセスダメージも電流-電圧測定により特性評価した。(翻訳著者抄録)
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著者キーワード (12件):
分類 (3件):
分類
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光導電素子  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  光学的測定とその装置一般 
引用文献 (10件):

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