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J-GLOBAL ID：201902247466777880   整理番号：19A2157485

最先端電子顕微鏡技術を用いた機能性デバイスのオペランド観察

著者 (4件)： 山本和生 (ファインセラミックスセ ナノ構造研) ,  穴田智史 (ファインセラミックスセ ナノ構造研) ,  野村優貴 (パナソニック テクノロジーイノベーション本部) ,  野村優貴 (名古屋大)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 29  号： 9  ページ： 31-35  発行年： 2019年09月10日 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・透過型走査電子顕微鏡(STEM)内で電子線ホログラフィーや電子エネルギー損失分光法(EELS)を用いて,トランジスタ動作中のGaAs P-n接合の電位分布,電場分布,電荷密度分布の定量的オペランド観察の紹介と,全固体Liイオン電池動作中の正極内部のLi濃度分布の定量的オペランド観察の紹介。
・先端のOリングにより試料をTEM試料ホルダー内に格納できるので,雰囲気を遮断して,FIB装置,グローブボックス,TEMに搬送でき,またFIBにより薄片化可能。
・電子線ホログラフィーを用いてGaAs p-n接合に電圧を印加しながら電位分布をその場観察し,逆バイアス,順バイアス共にp-n間の電位差が理論通りに変化するのを確認でき,p-n接合からの距離に対する電位を明瞭に計測でき,電位分布,電場分布,電荷密度分布が得られ,微妙な空乏層幅の変化,空間電荷層も把握可能。
・固体電解質(Li_1+x+yAl_x(Ti,Ge)_2-xSi_yP_3-yO₁₂(LASGTP)用いるLiイオン電池についてパルス蒸着で作製した正極材料LiCoO₂中のLi濃度分布を充放電させながら計測し,固体電解質とLiCoO₂の界面近傍にLiCoO₂とCo₃O₄が混在しており,Co₃O₄が界面抵抗が高い原因であることを明確にし,蒸着後にLiイオンが拡散したためと推測し,試料作製時に界面修飾層を導入し,Liイオン拡散を抑制する方法を提案。

シソーラス用語： *その場観察 ,  *透過型走査電子顕微鏡 ,  ホログラフィー ,  電子エネルギー損失分光法 ,  *ヒ化ガリウム ,  化合物半導体 ,  *トランジスタ ,  *PN接合 ,  電位分布 ,  分布 ,  密度分布 ,  *リチウム二次電池 ,  カソード ,  濃度分布 ,  リチウム ,  充電 ,  放電 ,  固体電解質 ,  コバルト酸塩 ,  リチウム化合物 ,  抵抗
準シソーラス用語： *オペランド観察 ,  界面抵抗 ,  充放電 ,  正極【電池系】 ,  電荷密度分布 ,  電子線ホログラフィー ,  電場分布

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  二次電池  (YB04030K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 最先端 ,  電子顕微鏡 ,  機能性 ,  オペランド ,  観察