抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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・筆者らの1人である大森によって発明された「ELID(エリッド)」法によって,微細砥粒砥石を駆使して,硬質材料,脆性材料の超精密鏡面研削を実現。
・本稿では,ELIDに研削による微細構造の加工事例とイオンショット法および最近の加工システムについて紹介。
・ELID法は,メタルボンド砥石と小さい間隙を隔て対向電極を設置して,電解ドレッシングを行う汎用的な方式として成立。
・イオンショットドレッシング法は,砥石に電極を対設させず,研削液を電解して砥石に供給して,電解ドレッシング効果を得るべく発案。
・手軽に使えるデスクトップ超精密加工機は,イオンショットドレッシングを適用して,ニーズが増大する小径,薄型砥石の応用が進められており,デスクトップ超精密加工機における注射針加工のセットアップと加工事例を紹介。