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J-GLOBAL ID：201902247846079343   整理番号：19A2394388

高精度・高品位化要求に応える精密研削技術〔解説〕ELID研削による微細加工とイオンショットドレッシングシステムの実用化

著者 (3件)： 大森整 (理研) ,  上原嘉宏 (理研) ,  加藤照子 (理研)
資料名： 機械技術  (Mechanical Engineering)
巻： 67  号： 11  ページ： 23-26  発行年： 2019年10月01日 
JST資料番号： F0145A  ISSN： 0451-9396  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・筆者らの1人である大森によって発明された「ELID(エリッド)」法によって,微細砥粒砥石を駆使して,硬質材料,脆性材料の超精密鏡面研削を実現。
・本稿では,ELIDに研削による微細構造の加工事例とイオンショット法および最近の加工システムについて紹介。
・ELID法は,メタルボンド砥石と小さい間隙を隔て対向電極を設置して,電解ドレッシングを行う汎用的な方式として成立。
・イオンショットドレッシング法は,砥石に電極を対設させず,研削液を電解して砥石に供給して,電解ドレッシング効果を得るべく発案。
・手軽に使えるデスクトップ超精密加工機は,イオンショットドレッシングを適用して,ニーズが増大する小径,薄型砥石の応用が進められており,デスクトップ超精密加工機における注射針加工のセットアップと加工事例を紹介。

シソーラス用語： *精密研削 ,  *ドレッシング【砥石】 ,  電解 ,  微細加工 ,  微細構造 ,  実用化 ,  表面粗さ ,  形状精度 ,  加工面
準シソーラス用語： *ELID研削 ,  *イオンショットドレッシング ,  鏡面研削 ,  超精密研削加工

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高品位 ,  精密研削 ,  ELID研削 ,  微細加工 ,  実用化