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J-GLOBAL ID：201902248175296173   整理番号：19A0488814

複合ルール集合に基づく半導体生産ラインの動的スケジューリング【JST・京大機械翻訳】

Dynamic Scheduling of a Semiconductor Production Line Based on a Composite Rule Set

著者 (5件)： Ma Yumin (School of Electronical & Information Engineering, Tongji University, Shanghai 201804, China) ,  Qiao Fei (School of Electronical & Information Engineering, Tongji University, Shanghai 201804, China) ,  Zhao Fu (School of Mechanical Engineering, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA) ,  Zhao Fu (Environmental and Ecological Engineering, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA) ,  Sutherland John W. (Environmental and Ecological Engineering, Purdue University, West Lafayette, IN 47907, USA)
資料名： Applied Sciences (Web)  (Applied Sciences (Web))
巻： 7  号： 10  ページ： 1052  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7135A  ISSN： 2076-3417  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 製造生産スケジュールを開発するとき,様々な要因と制約を考慮しなければならず,そのようなスケジュールはしばしば規則に基づいている。本論文は,半導体生産ラインにおける様々な因子を包括的に考慮する発見的規則に基づく複合ディスパッチングルールを開発した。半導体製造ライン(機械状態,待ち行列サイズなど)の種々の状態を調査することによって,複合則を得て,そこでは,実行時間と装置効率のような指標を,性能を判断するために用いた。重要な変数の関数としての応答曲面のモデルを,種々の生産状態に対する複合則の最適化パラメータを見出すために開発した。さらに,半導体製造の動的スケジューリングをサポートベクトル回帰(SVR)に基づいて研究した。このアプローチは,リアルタイム生産ライン状態に従って生産性能を最適化するために用いることができる複合ディスパッチングルール(すなわち,複合ディスパッチングルールのパラメータ)を動的に得る。最適化に続いて,提案した動的スケジューリング手法を実際の半導体生産ラインで試験し,提案した複合ルール集合の有効性を検証した。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 最適化 ,  待ち行列 ,  *生産ライン ,  有効性 ,  ディスパッチング
準シソーラス用語： 実時間 ,  サポートベクトル回帰 ,  実行時間 ,  生産スケジューリング ,  *動的スケジューリング ,  *半導体製造 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 動的スケジューリング ,  半導体製造 ,  複合ルール集合 ,  サポートベクトル回帰(SVR)

分類 (1件)： 工程管理  (KB03030P)

引用文献 (19件)：

• Mouelhi-Chibani, W.; Pierreval, H. Training a neural network to select dispatching rules in real time. Comput. Ind. Eng. 2010, 58, 249-256.
• Priore, P.; Gomez, A.; Pino, R.; Rosillo, R. Dynamic scheduling of manufacturing systems using machine learning: An updated review. Artif. Intell. Eng. Des. Anal. Manuf. 2014, 8, 83-97.
• Shiue, Y.R.; Guh, R.S.; Tseng, T.Y. Study on shop floor control system in semiconductor fabrication by self-organizing map-based intelligent multi-controller. Comput. Ind. Eng. 2012, 62, 1119-1129.
• Tsai, C.J.; Huang, H.P. A real-time scheduling and rescheduling system based on RFID for semiconductor foundry FABs. J. Chin. Inst. Ind. Eng. 2007, 24, 437-445.
• Olafsson, S.; Li, X.N. Learning effective new single machine dispatching rules from optimal scheduling data. Int. J. Prod. Econ. 2010, 128, 118-126.

タイトルに関連する用語 (3件)： ルール ,  集合 ,  動的スケジューリング