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J-GLOBAL ID：201902248237693643   整理番号：19A1704565

Te/Cd/Te三層の熱的および非熱的アニーリングの効果:比較研究【JST・京大機械翻訳】

Effect of thermal and athermal annealing of Te/Cd/Te trilayer: A comparative study

著者 (2件)： Survase Smita (Thin Film Research Laboratory, Birla College of Arts, Commerce and Science, Kalyan, 421-304, India) ,  Thakurdesai Madhavi (Thin Film Research Laboratory, Birla College of Arts, Commerce and Science, Kalyan, 421-304, India)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 2115  号： 1  ページ： 030291-030291-4  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TE/Cd/Te三層薄膜を逐次層蒸着(SEL)技術を用いて堆積した。2つのポスト堆積技術,Rapid熱アニーリング(RTA)とSwift重イオン照射を,CdTeナノ相の形成のために用いた。X線回折(XRD)を構造キャラクタリゼーションに用い,UV-Vis吸収分光法を光学特性化のために行った。著者らの実験結果は,SHI照射誘起非熱アニーリングが,RTA技術を用いた熱アニーリングよりも,TeCd/Te三層膜における層混合とナノ結晶化を誘起する有効なツールであるという結論を導いた。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 光学的性質 ,  薄膜 ,  X線回折 ,  蒸着 ,  *焼なまし ,  吸光分光分析 ,  テルル化カドミウム ,  キャラクタリゼーション ,  重イオン照射
準シソーラス用語： ナノ結晶化 ,  熱アニーリング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 火災  (RA02020B) ,  機械的性質  (YH02022L)

タイトルに関連する用語 (4件)： Te ,  Cd ,  アニーリング ,  研究