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J-GLOBAL ID：201902249447481278   整理番号：19A0610715

STEM-EELS法によるSi中のHeの挙動に関する研究

STEM-EELS Study of Dynamic Behavior of Helium in Si

著者 (4件)： 小野興太郎 (島根大学総合理工学部) ,  宮本光貴 (島根大学総合理工学部) ,  倉田博樹 (京都大学化学研究所) ,  治田允貴 (京都大学化学研究所)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 58  号： 2  ページ： 89(J-STAGE)  発行年： 2019年 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・本研究では,高分解能STEM-EELSを用いた,Heイオン照射でSi中に形成されたバブル中のHeの挙動を調査。
・(011)Si単結晶円板状試料をディンプリング研磨と化学研磨を行った検鏡試料に,5keVのHe⁺イオンを照射。
・バブルの昇温にともなう動的挙動をTEMその場観察すると,バブルは,800K付近からブラウン運動しながら合体し,全体として粗大化が進行することが判明。
・照射/焼鈍温度を変えた試料のSTEM-EELS測定を実施。
・EELSスペクトルから,バブル中のHe密度に算出(50He/nm3),およびHe密度の焼鈍による変化から,バブルからのHe流出開始温度や,完了温度の特定などバブル中のHeの挙動について言及。

シソーラス用語： 透過型走査電子顕微鏡 ,  *電子エネルギー損失分光法 ,  ケイ素 ,  イオン照射 ,  気泡 ,  *ヘリウム ,  単結晶 ,  化学研磨 ,  Brown運動 ,  合体 ,  イオン密度 ,  流出 ,  温度 ,  焼なまし ,  スペクトル解析 ,  *電子顕微鏡観察 ,  挙動 ,  相互作用 ,  *格子欠陥 ,  照射欠陥 ,  機械工作
準シソーラス用語： EELS法 ,  STEM【顕微鏡】 ,  粗大化 ,  動的挙動

著者キーワード (3件)： STEM-EELS ,  He babble ,  silicon

分類 (2件)： 半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E) ,  金属組織観察法  (WB01010R)

タイトルに関連する用語 (6件)： STEM ,  EELS法 ,  Si ,  He ,  挙動 ,  研究