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J-GLOBAL ID：201902249493112982   整理番号：19A2631161

透明材料の超短パルスレーザー加工

著者 (6件)： 下間靖彦 (京大) ,  中村晃直 (京大) ,  水田朋希 (京大) ,  坂倉政明 (京大) ,  清水雅弘 (京大) ,  三浦清貴 (京大)
資料名： 光アライアンス  (Optical Alliance)
巻： 30  号： 11  ページ： 25-30  発行年： 2019年11月01日 
JST資料番号： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ピコ秒レーザーパルスの時間的なエネルギー変調によって,不均一な応力分布やクラックを発生させることなく,ガラス内部の局所溶融が可能である。溶融領域周辺の応力分布を均一化することで,クラックの発生しきい値を,変調なしの場合の16.5μJから22.0μJに増加でき,結果として,クラックを発生させずに局所溶融領域の幅を約1.3倍にすることができた。さらに,本手法によって,レーザー光の照射方向への加工痕の伸びを抑制することにも成功した。これは,レーザーパルスの時間的なエネルギー変調によって,レーザー集光部近傍に発生するプラズマの挙動の時間的な制御が可能であることを示唆していると考えられる。(著者抄録)

シソーラス用語： *透明材料 ,  *パルスレーザ ,  *レーザ加工 ,  ピコ秒 ,  部分融解 ,  制御 ,  プラズマ ,  プラズマ制御 ,  短パルスレーザ
準シソーラス用語： ピコ秒レーザ ,  部分溶融

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (2件)： 透明材料 ,  短パルスレーザー