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J-GLOBAL ID：201902249517603342   整理番号：19A2644553

パルスレーザ蒸着により作製した酸素ドープ非水素化ダイヤモンド状炭素膜の赤外および機械的性質【JST・京大機械翻訳】

Infrared and mechanical properties of the oxygen-doped non-hydrogenated diamond-like carbon film prepared by pulsed laser deposition

著者 (7件)： Cheng Yong (Opto-Electronics Institute in Wuhan Mechanical College, Wuhan 430075, China) ,  Lu Yimin (Opto-Electronics Institute in Wuhan Mechanical College, Wuhan 430075, China) ,  Huang Guojun (Opto-Electronics Institute in Wuhan Mechanical College, Wuhan 430075, China) ,  Guo Yanlong (Opto-Electronics Institute in Wuhan Mechanical College, Wuhan 430075, China) ,  Xi Lin (School of Mechanical and Automotive Engineering in Anhui Polytechnic University, Wuhu 241000, China) ,  Wang Sai (Opto-Electronics Institute in Wuhan Mechanical College, Wuhan 430075, China) ,  Tian Fangtao (Opto-Electronics Institute in Wuhan Mechanical College, Wuhan 430075, China)
資料名： Infrared Physics & Technology  (Infrared Physics & Technology)
巻： 102  ページ： Null  発行年： 2019年 
JST資料番号： H0184A  ISSN： 1350-4495  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸素雰囲気中のフェムト秒レーザにより非水素化ダイヤモンド状炭素膜を調製し,酸素ドープダイヤモンド状炭素膜の微細構造,表面,赤外及び機械的性質に及ぼす酸素雰囲気の影響を研究した。酸素雰囲気は表面上の顆粒を減少させるのに好都合であったが,ダイヤモンド状炭素DLC膜の表面粗さを増加させた。パルスレーザ蒸着の間,酸素圧力が5m Torrより低いとき,炭素と酸素原子は,CO結合とCCハイブリッド結合を形成するために傾いた。COとCO結合は,酸素ドープダイヤモンド状炭素膜の赤外スペクトルにおいて,1つの付加的吸収バンドと2つの付加的吸収ピークをもたらしたが,中赤外バンドにおけるそれらの透過は増加した。より高い原子結合エネルギーを有するCC sp3結合がより低い原子結合エネルギーを有するCO結合に置換されるので,DLC膜のナノ硬度は酸素圧が支配的に増加すると減少した。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 結合エネルギー ,  フェムト秒レーザ ,  吸収バンド ,  *ドーピング ,  *赤外線 ,  *炭素 ,  DLC膜 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  *水素化 ,  微細構造 ,  *酸素
準シソーラス用語： ナノ硬さ ,  酸素分圧 ,  酸素雰囲気 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 非水素化ダイヤモンド状炭素膜 ,  パルスレーザ蒸着 ,  酸素雰囲気 ,  原子結合

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光導電素子  (NC03083X) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (8件)： パルスレーザ蒸着 ,  作製 ,  酸素 ,  ドープ ,  水素化 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  赤外 ,  機械的性質