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J-GLOBAL ID:201902249849470644   整理番号:19A2619234

六角形トレンチ構造を有する(111)縦型2DHGダイヤモンドMOSFET

著者 (8件):
資料名:
巻: 80th  ページ: ROMBUNNO.20a-E312-1  発行年: 2019年09月04日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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縦型デバイスは、横型デバイスに比べ集積化に優れ、高耐圧化及び低オン抵抗化の両立が可能である。そのため縦型デバイスの開発はパワーエレクトロニクスの発展に必要不可欠である。我々はC-H終端構造及び高温ALD-Al2O3により誘起される2次元正孔...【本文一部表示】
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トランジスタ 
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