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J-GLOBAL ID：201902250015919020   整理番号：19A1678550

ナノ秒ファイバレーザ誘起プラズマ堆積銅の研究【JST・京大機械翻訳】

Study on plasma deposition of copper induced by nanosecond fiber laser

著者 (5件)： Yang Kai (華中科技大学 武漢光電国家研究中心 激光与太赫zi技術功能実験室,武漢,430074) ,  Qin Zhongli (華中科技大学 武漢光電国家研究中心 激光与太赫zi技術功能実験室,武漢,430074) ,  Ai Jun (華中科技大学 武漢光電国家研究中心 激光与太赫zi技術功能実験室,武漢,430074) ,  Liu Jianguo (華中科技大学 武漢光電国家研究中心 激光与太赫zi技術功能実験室,武漢,430074) ,  Ceng Xiaoyan (華中科技大学 武漢光電国家研究中心 激光与太赫zi技術功能実験室,武漢,430074)
資料名： Jiguang Jishu  (Jiguang Jishu)
巻： 43  号： 2  ページ： 246-250  発行年： 2019年 
JST資料番号： C2072A  ISSN： 1001-3806  CODEN： JJISEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ガラス表面の金属化を実現するため、レーザー誘導プラズマ堆積技術を利用し、安価で維持しやすく、波長が1064nmの赤外ナノ秒ファイバレーザーとT2銅ターゲットを用いて、透明材料普通ケイ酸塩ガラス表面に金属銅を直接堆積させた。光学顕微鏡と走査電子顕微鏡によりキャラクタリゼーションを行った。結果は,レーザエネルギー密度が一定のレーザエネルギー密度(12.50J/cm2レーザで達成可能な最大エネルギー密度27.13J/cm2)で,レーザエネルギー密度の増加に伴い,ガラス表面に堆積した銅粒子の数が増加することを示した。しかし,レーザエネルギー密度が一定(27.13J/cm2)のとき,レーザスポットの横方向と縦方向の重ね合せ率は一致し,光スポットの重ね合せ率が50%以下の場合,ガラスはレーザへの強い吸収のため,銅の堆積に失敗した。光スポット重ね合せ率が-20%50%で変化すると,ガラス表面に沈着した銅粒子の数は最初増加し,次に減少する。レーザ誘起プラズマ蒸着は,透明基板材料の表面金属化のための便利な技術である。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： キャラクタリゼーション ,  ガラス ,  *ナノ秒 ,  *銅 ,  エネルギー密度 ,  走査電子顕微鏡 ,  メタライゼーション ,  波長 ,  *レーザプラズマ ,  プラズマCVD ,  *ファイバレーザ ,  重合せ ,  透明材料 ,  赤外線
準シソーラス用語： *レーザ誘起 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： laser technique ,  laser-induced plasma deposition ,  nanosecond fiber laser ,  copper deposition layer ,  copper pattern

分類 (4件)： 固体レーザ  (BD04080W) ,  無機化合物のルミネセンス  (BM08093J) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  レーザ一般  (BD04030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノ秒 ,  ファイバ ,  レーザ誘起プラズマ ,  堆積 ,  銅 ,  研究