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J-GLOBAL ID：201902250720587232   整理番号：19A2660489

マスフロー千夜一夜物語 第57回

著者 (1件)： 黒田誠 (EZ-Japan)
資料名： 計測技術  (Instrumentation and Automation)
巻： 47  号： 12  ページ： 52-58  発行年： 2019年11月05日 
JST資料番号： S0852A  ISSN： 0385-9886  CODEN： KEGIDR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・標記の第57回として,本稿では,マスフローメータやマスフローコントローラを配管システムに接続する継手について解説。
・メタルガスケット式フェイスシールタイプ継手の代表であるフェイスシールタイプ=VCR(商標),および実験室から生産ラインまで真空から高圧配管まで幅広く使用されている食い込み継手(AWL)について説明。
・マスフローの主戦場である半導体・真空製造装置関連では認知されていないがメジャーである管用テーパータイプ=RC継手,およびOリングフェイスシールタイプ=VOCについて記述。
・マスフローにとっての継手として,継手の種類,口径,面間寸法,およびマスフローの面底と継手中心線との間の高さ寸法(芯高)について言及。

シソーラス用語： 制御装置 ,  流量制御 ,  流量計 ,  配管システム ,  *継手【接合】 ,  ガスケット ,  保護面 ,  Oリング ,  直径
準シソーラス用語： テーパーネジ継手 ,  フェイスシール継手 ,  マスフローコントローラ ,  口径 ,  種類 ,  食い込み継手 ,  芯高

分類 (2件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  ファスナ類,締付,し緩,継手  (QB01090V)

タイトルに関連する用語 (2件)： マスフロー ,  物語