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J-GLOBAL ID:201902250998384865   整理番号:19A0489203

ナノメートル空間分解能を有する全視野および接触EUVおよびSXR顕微鏡を用いたバイオイメージング【JST・京大機械翻訳】

Bioimaging Using Full Field and Contact EUV and SXR Microscopes with Nanometer Spatial Resolution
著者 (12件):
資料名:
巻:号:ページ: 548  発行年: 2017年 
JST資料番号: U7135A  ISSN: 2076-3417  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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極端紫外(EUV)及び軟X線(SXR)スペクトル領域におけるナノスケール画像化に関連した最近の結果を示し,EUV及びSXR放射を用いてナノスケール物体の高空間分解能画像を得る目的で最近開発された三つの新しいイメージングシステムを実証した。全てのシステムはレーザプラズマEUVとSXR源に基づいており,二重ストリームガスパフターゲットを用いている。13.8nmと2.88nmの波長で動作するEUVとSXRの全視野顕微鏡は,相対的に短い(秒)露光時間でサブ50nmの空間分解能でナノ構造をイメージングすることができる。第三のシステムはSXR接触顕微鏡で,「水窓」スペクトル範囲(2.3~4.4nm波長)で動作し,SXR感光性ポリ(メタクリル酸メチル)フォトレジストの薄い表面層において調べた物体の内部構造のインプリントを生成する。このようなコンパクトなイメージングシステムの開発は,近い将来における生物学,材料科学,ナノテクノロジー応用に関連する新しい研究に不可欠である。癌細胞,珪藻およびニューロンを含む生物学的試料の研究に対するすべての顕微鏡の応用を示した。光源,顕微鏡,および様々な物体に対する画像化結果についての詳細を示し,議論した。Copyright 2019 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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光学的測定とその装置一般 
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