抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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「革新的問題解決の理論」のためのTRIZは,現在良く知られており,欧米諸国における様々な工学分野に適用されている。しかし,マイクロエレクトロニクスにおける問題に関する成功例は少なく,文献にも見られる。そこで,マイクロエレクトロニクス分野における工学的問題を解決するための有用性を見るために,投影ディスプレイのための小高分解能TFT-LCD(Thin Film Transistor Added Lystal Display)に関するこれまでの研究を研究し,解析した。LCD(液晶ディスプレイ)のセルギャップを保つために必要なスペーサの存在と,スクリーンの透過均一性に関連するスペーサの存在と,スペーササイズと比較したスペーササイズが大きくなるにつれて,暗スクリーン上の明るいスポットとして認識されるスペーサの存在による画質の劣化があった。この問題をTRIZフレームワークによって解析して,投影ディスプレイのためのLCDの製造における上記の矛盾に対する解法をTRIZフレームワークを利用することによって系統的に見つけた。また,「生産性」と「製造精度」の間の相反する特徴の更なる問題と,投影ディスプレイ用の小型TFT-LCDの生産におけるいくつかの他の問題を,TRIZフレームワークを用いて研究し,FIR(Final Itreed 結果)として新しいデバイス構造と製造プロセスを得た。この方法において,Siウエハ上に形成されたTFTアレイは,TFT-LCD産業で使用される高い歪点,Eagle XG,およびAN100などのガラスのような他の基板上に転写される。水素剥離技術と脆弱層を利用して,デバイス層を他の基板に移した。この提案では,TFTは完全な単結晶であり,現在のLCDで使用されているポリSi TFTとは対照的であり,これはPoly-Siの結晶粒界から生じる特性変化の問題を排除する。Copyright 2019 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
