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文献
J-GLOBAL ID:201902254152674997   整理番号:19A1931103

用語解説 MEMS

MEMS
著者 (1件):
資料名:
巻: 18  号:ページ: 153-154  発行年: 2019年05月31日 
JST資料番号: L2776B  ISSN: 1347-7919  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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・1990年代からの半導体集積回路作製技術MEMSのライフサ...
シソーラス用語:
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分類 (4件):
分類
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研究開発  ,  薬物の研究法  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  生体系モデル一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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