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J-GLOBAL ID：201902254836831012   整理番号：19A0912123

ディジタルホログラフィック顕微鏡による光学表面上の微小宇宙欠陥の構造の測定【JST・京大機械翻訳】

Measurement for the structure of microcosmic defects on optical surface with digital holographic microscopy

著者 (6件)： Jiang Hongzhen (Research Ctr. of Laser Fusion (China)) ,  Liu Yong (Research Ctr. of Laser Fusion (China)) ,  Liu Xu (Research Ctr. of Laser Fusion (China)) ,  Li Dong (Research Ctr. of Laser Fusion (China)) ,  Zheng Fanglan (Research Ctr. of Laser Fusion (China)) ,  Yu Deqiang (Research Ctr. of Laser Fusion (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10839  ページ： 108391U-6  発行年： 2019年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学表面微小宇宙欠陥は,システム出力エネルギーを制限し,光学の損傷をもたらす重要な因子である高出力レーザシステムの安全な動作に影響を及ぼす。巨視的光学表面上の微小宇宙欠陥の三次元(3D)構造の定量的測定は,高出力レーザシステムの能力に対する欠陥の影響を研究するために非常に重要である。白色光干渉面プロファイラと原子間力顕微鏡のような現在の構造測定法は遅い測定速度と小さな測定場の欠点を有し,したがって巨視的光学表面上の微小宇宙欠陥の3D測定に適していない。この問題を解決するために,光学表面上の微小宇宙欠陥の構造を測定するための効果的な方法を,ディジタルホログラフィー顕微鏡(DHM)に基づいて提案した。欠陥によって誘起された波面収差を記録し,次に,波面収差と光路の間の関係に従って,欠陥の三次元構造を計算した。このアプローチは光学表面上の微小宇宙欠陥の定量的測定に応用でき,高出力レーザシステムに及ぼす表面微小宇宙欠陥の影響をさらに研究し理解するのに役立つ。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 波面収差 ,  干渉 ,  白色光 ,  *宇宙空間 ,  原子間力顕微鏡 ,  安全性 ,  高出力レーザ ,  三次元 ,  三次元測定
準シソーラス用語： 三次元構造 ,  光路 ,  ディジタルホログラフィー ,  プロファイラ ,  *光学表面 ,  デジタルホログラフィック顕微鏡 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (5件)： ディジタルホログラフィック顕微鏡 ,  光学表面 ,  微小 ,  宇宙 ,  欠陥