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J-GLOBAL ID：201902255002870182   整理番号：19A2533370

容量性結合RF放電プラズマのシミュレーションと実験診断研究【JST・京大機械翻訳】

Simulations and Experimental Diagnostic of Capacitively Coupled RF Discharge Plasma

著者 (4件)： Zhu Han (河海大学理学院 南京 210098) ,  He Xiang (河海大学理学院 南京 210098) ,  Chen Bingyan (河海大学理学院 南京 210098) ,  Chen Jianping (北京航空工程技術研究中心 北京 100076)
資料名： Diangong Jishu Xuebao  (Diangong Jishu Xuebao)
巻： 34  号： 16  ページ： 3504-3511  発行年： 2019年 
JST資料番号： C2502A  ISSN： 1000-6753  CODEN： DIJXE5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 工業生産と軍事応用において、低気圧、低温非熱平衡プラズマの調製と実験診断問題に対して、COMSOLソフトウェアプラズマモジュールを用いてシミュレーションを行い、容量性結合RFプラズマ放電の一次元流体モデルを構築し、Heガスを作動ガスとして設定した。プラズマ電子数密度および電子温度の軸方向分布を,異なる電圧および異なる圧力の下で,数値的に研究した。プラズマ生成と診断実験プラットフォームを構築し、均一RF放電の等価回路計算により電子密度neと電子温度Teを得て、得られたデータを流体モデルシミュレーションと比較し、一致した結果を得た。研究は以下を示した。ガス圧力が100250Paのとき,極板間の電子密度は軸方向に沿って最初増加し,次に減少し,平均電子密度は駆動電圧と入力パワーの増加と共に増加した。電子温度は極板の中心で最小値をとり、極板のエッジには二つのピークが存在し、平均電子温度は気圧と空洞の大きさの関数のみであり、駆動電圧とパワーの変化によらず、気圧の増大に伴い減少するだけである。入力パワーの増加に伴い、電子密度は次第に上昇してから迅速に上昇し、異なる気圧下でこのような電子密度のジャンプは異なる電圧振幅に現れ、この標識は容量性結合放電中のα-γモード遷移を表明した。この結論は,シミュレーションおよび実験の高速無干渉診断の応用範囲を拡大し,低温プラズマ放電特性の更なる研究のための技術的支援を提供した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高速度 ,  等価回路 ,  ヘリウム ,  電子温度 ,  *シミュレーション ,  *プラズマ ,  *診断 ,  一次元 ,  電圧 ,  計算機シミュレーション ,  低温 ,  *RF放電 ,  *放電 ,  電子密度 ,  プラズマ放電 ,  低温プラズマ ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： 非熱プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 電力変換器  (NB08030B) ,  電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (7件)： 容量性 ,  RF放電 ,  プラズマ ,  シミュレーション ,  実験 ,  診断 ,  研究