抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ナノスケール素子における真の可能性のあるビルディングブロックとしてシリコンナノワイヤを使用するための一次課題は,操作性能へのスケール効果の実装である。従って,輸送特性に及ぼすサイズ減少の直接結果としての表面応力効果は研究の主要な分野になった。以前の計算機シミュレーションは対称断面を持つ幾何学的パラメータに焦点を当ててきたが,非対称断面を持つシリコンナノワイヤはトップダウン作製技術の主要な結果である。最近の研究は,実験的および計算的研究からの既存の論争に取り組むために,シリコンナノワイヤ上のねじれプロファイルを有する表面応力によって果たされる役割に関する新しい側面を引き出した。その成功に動機付けられて,シリコンナノワイヤの引張特性に及ぼすこの表面応力プロファイルの意味を分子動力学シミュレーションにより研究した。表面応力に関連する変形を,異なる長さ対厚さおよび幅対厚さ比に対して計算した。次に,一定歪速度に対して引張特性を調べた。固定および固定自由境界条件に対する<100>結晶方位に沿ったシリコンナノワイヤについて原子計算を行った。圧縮一軸表面応力とねじり表面応力の組合せは,ケイ素ナノワイヤの機械的挙動に寄与する。弾性特性に関する遷移は,正方形から長方形への断面積を変えることによって得られる。さらに,機械的性質に及ぼす表面応力の寄与に関する議論に取り組むために,利用可能な解析的アプローチに関連する限界をシリコンナノワイヤに対して強調した。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】