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J-GLOBAL ID:201902257353165798   整理番号:19A0792989

ディジタル光学ツインを構築するための測定法【JST・京大機械翻訳】

Measurement methods to build up the digital optical twin
著者 (6件):
資料名:
巻: 10513  ページ: 105131I-10  発行年: 2018年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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光学系の物理的状態のディジタル表現を短くするディジタル光学Twin(DOT)の実現は,光学系の自動組立過程の文脈において特に有用である。組立プロセスの間,光学システムの物理的システム状態を連続的に測定して,デジタルモデルと比較した。物理的状態とディジタルモデルの間の偏差の場合,後者は物理的状態に適合するように適合する。上記の目的に到達するために,既存の光学系の正確なディジタル双晶を生成するためのそれらの適合性に関する第一段階の測定/特性化技術を同定し評価する必要がある。本論文では,可能性のあるキャラクタリゼーション法の概要を示し,最後に,DOTを生成するために,評価された方法(例えばスポット半径,MTF,Zernike多項式)の最初の結果を示した。焦点は,最初に,最適化結果の明確さと,特性化されたシステム状態に到達するための最適化に必要な計算時間に関するものである。誤差の可能な原因は,測定精度(システムを特性化する),測定の実行時間,物理的世界へのデジタルのマッピングに必要な時間(最適化ステップ),および測定ツールを組立セルに統合するためのインタフェイスの可能性である。さらに,使用した測定法が組立セルへの「シームレス」統合に適しているかどうかを議論する。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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光学情報処理  ,  分光分析 
タイトルに関連する用語 (4件):
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