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J-GLOBAL ID：201902257494689411   整理番号：19A0939224

三次元誘導コイルに基づく新型MEMS電流センサ【JST・京大機械翻訳】

Novel MEMS current sensor based on 3 D induction coil

著者 (6件)： Li Bin (中国科学院電子学研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049) ,  Peng Chunrong (中国科学院電子学研究所,北京,100190) ,  Ling Biyun (中国科学院電子学研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049) ,  Chu Zhaozhi (中国科学院電子学研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049) ,  Zhang Zhouwei (中国科学院電子学研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049) ,  Xia Shanhong (中国科学院電子学研究所,北京,100190)
資料名： Chuanganqi yu Wei Xitong  (Chuanganqi yu Wei Xitong)
巻： 38  号： 2  ページ： 63-65  発行年： 2019年 
JST資料番号： C3686A  ISSN： 1000-9787  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 三次元誘導コイルに基づいて,新しい微小電気機械システム(MEMS)電流センサを開発した。センサーはガラスを基板とし、ポリイミドを支持と絶縁材料とし、スパッタリング、フォトリソグラフィー、電気めっき、研磨などのマイクロ加工技術により、ガラス基板上で三次元誘導コイルを作製した。センサは,低消費電力,良好な線形性,軽量構造などの利点を有し,U型装置により伝送導体表面に固定され,実装が容易である。試験結果は,電流センサの両端に出力された電圧信号が伝送線路の電流と線形であり,線形性が0.58%であることを示した。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 研磨 ,  基板 ,  *MEMS ,  *電流センサ ,  ポリイミド ,  導体 ,  スパッタリング ,  伝送線路 ,  絶縁材料 ,  フォトリソグラフィー ,  *電流 ,  マイクロマシニング ,  ガラス ,  *三次元
準シソーラス用語： *誘導コイル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 誘導コイル ,  MEMS ,  電流センサ