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J-GLOBAL ID：201902257496546053   整理番号：19A0876939

スプリング型ダイヤフラムを用いた新しいMEMS容量性マイクロホン【JST・京大機械翻訳】

A novel MEMS capacitive microphone using spring-type diaphragm

著者 (2件)： Sedaghat Sedighe Babaei (Department of Electrical and Computer Engineering, Babol Noshirvani University of Technology, Babol, Iran) ,  Ganji Bahram Azizollah (Department of Electrical and Computer Engineering, Babol Noshirvani University of Technology, Babol, Iran)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 25  号： 1  ページ： 217-224  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,MEMS容量性マイクロホン構造用のカエルアームにより支持されたダイヤフラムの新しい設計を示した。提案したダイヤフラムはマイクロホン感度を改善するために空気減衰とダイヤフラム剛性を低減する。有限要素法(FEM)を用いて,カエルアームによる固定および支持ダイヤフラムを有するマイクロフォンの挙動を解析し,シミュレーションした。この構造は,厚さ3μm,ダイヤフラムサイズ0.5mm×0.5mm,エアギャップ1μmの穿孔アルミニウムダイヤフラムを有している。結果によると,新しいマイクロホンの機械的感度は9.893nm/Paであり,プルイン電圧は2.25Vであるが,同じダイヤフラムサイズのクランプは0.309nm/Paの機械的感度と44.6Vのプルイン電圧を持つ。ダイヤフラム周辺にカエルアームを導入することにより,機械的感度は32倍に増加した。また,結果は,固定マイクロホンに対して0.15fF/Paの静電容量感度,およびカエルアームにより支持されたものに対して27.45fF/Paを得た。カエル腕による支持マイクロフォンのプルイン電圧は,クランプされたものと比較して約95%減少した。Copyright 2018 Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ダイヤフラム ,  剛性 ,  クランプ ,  有限要素法 ,  *マイクロホン ,  静電容量 ,  アーム ,  穿孔 ,  *MEMS
準シソーラス用語： プルイン電圧 ,  エアギャップ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： オーディオ機器  (NC06010U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： スプリング ,  ダイヤフラム ,  MEMS ,  容量性 ,  マイクロホン