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J-GLOBAL ID:201902259475151785   整理番号:19A1871302

制限背面電極型素子を用いた蓄積電荷測定

著者 (8件):
資料名:
巻: 99th  ページ: ROMBUNNO.4D3-05  発行年: 2019年03月01日 
JST資料番号: S0493B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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有機/金属界面における電荷注入障壁を,蓄積電荷測定法(ACM法)を用いて決定できることを,以前の研究で示した。しかしながら,熱酸化型高ドープn-Si基板を用いた素子では,有機層における蓄積電荷の広がりにより,絶縁体層の電気容量を直接決定できないことが問題であった。本発表では,AlおよびITO電極を用いた制限背面電極型素子を作製し用いることで,電荷拡散を抑制した測定に成功したため,これを報告する。(著者抄録)
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分類 (1件):
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金属-絶縁体-半導体構造 
タイトルに関連する用語 (4件):
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