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J-GLOBAL ID:201902261034751305   整理番号:19A1414935

すれすれ入射小角X線散乱3Dマッピングにより明らかにされたサファイア微斜面の対称ファセット形成【JST・京大機械翻訳】

Symmetric faceting of a sapphire vicinal surface revealed by grazing incidence small-angle X-ray scattering 3D mapping
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資料名:
巻: 111  号:ページ: 031601-031601-4  発行年: 2017年 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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サファイアの一次元周期的微斜面を,高温熱処理後の自己秩序化過程を通して得た。表面の形態は,矩形基底を示すプリズムと平均表面に直交する三角形プロフィルの集合として記述される。サファイア結晶の特定の結晶学的方向に関する厳密な配向手順と組み合わせたすれすれ入射小角X線散乱実験により,逆空間の起源の周りの全3D相互写像の注意深い測定を行った。従って,プリズムの実際の形状を正確に決定することができ,それは等辺三角形プロファイルを示す。平均サファイア微斜面表面に垂直な面に対して対称なこのようなプロファイルは報告されていない。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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半導体薄膜 

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